CF4 رباعي فلوريد الكربون هو مصدر فلوريد الكربون وفلوريد الكربون الراديكالي الحر ، يستخدم في مختلف عمليات النقش بالرقاقات. يتم دمج رباعي فلوريد الكربون CF4 مع الأكسجين لحفر البولي سيليكون وثاني أكسيد السيليكون ونيتريد السيليكون. رباعي فلوريد الكربون خامل نسبيا في الظروف العادية ويمكن أن يسبب الاختناق في المناطق غير التهوية. في بيئة بلازما ترددات الراديو ، تظهر جذور الفلور الحرة في شكل ثلاثي فلوريد الكربون النموذجي أو ثنائي فلوريد الكربون. يمكن لربع فلوريد الكربون عالي النقاء التحكم في عملية المعالجة ، بحيث يمكن التحكم بشكل أفضل في الحجم والشكل. هذا يختلف عن الهالوكربونات الأخرى التي لا تساعد على العديد من الضوابط الخاصة (مثل التحكم في تباين أشباه الموصلات) عندما تواجه الهواء أو الأكسجين. يمكن استخدام غازها عالي النقاء ومزيج غاز رباعي فلوريد الكربون عالي النقاء والأكسجين الكاتيوني عالي النقاء على نطاق واسع في نقش الشموع من السيليكون وثاني أكسيد السيليكون ونيتريد السيليكون ، مواد رقيقة من زجاج السيليكون والفوسفور والتنغستن.>>>> رباعي فلوريد الكربون CF4 له تأثير مخدر عند التركيزات العالية. الغاز عالي النقاء وخليطهما مع الأكسجين عالي النقاء هما أكثر غازات النقش بالبلازما استخدامًا في صناعة الإلكترونيات الدقيقة. يمكن أيضًا استخدامها كمبردات منخفضة الحرارة ووسائط عازلة منخفضة الحرارة. إنه يتمتع باستقرار كيميائي وحراري جيد ، وهو خامل للعديد من الكواشف ، ولا يتحلل في درجة مئوية. لا يتفاعل مع النحاس والنيكل والتنغستن في درجة حرارة الغرفة. بسبب الاستقرار الكيميائي القوي للغاية للسندات ، يمكن اعتبار مركبات الكربون البيروكربونية الممثلة بواسطة CF4 غير سامة بشكل أساسي. "Tetrafluoromethane" (CF4) ذو ثبات عالٍ وهو غاز غير قابل للاشتعال تمامًا. لا يتفاعل مع الأحماض والقلويات والأكسدة في درجة حرارة الغرفة ، ولا يتفاعل مع المعادن الانتقالية مثل Cu و Ni و W و Mo أدناه! ولا يتفاعل مع الكربون والهيدروجين و CH4 أدناه!! يمكن أن يتفاعل مع كواشف معادن الصوديوم والأمونيا السائلة في درجة حرارة الغرفة ، ويمكن أن يتفاعل CF4 مع المعادن القلوية ، والمعادن الأرضية القلوية ، و SiO2 في درجات حرارة عالية لتوليد الفلوريد المقابل. يبدأ CF4 في التحلل عند أولاً ، درجة مئوية ويمكنه التفاعل مع CO2 وثاني أكسيد الكربون لتشكيل COF2 تحت تأثير القوس الكهربائي. حاول بعض الأشخاص أيضًا بلمرة CF4 عند درجات حرارة قوس الكربون لتجميع الفلوروكربونات الأخرى.>

• السابق: غاز CF4
• التالي: رباعي فلوريد الكربون CF4 ، 5N