>>> 5N رباعي فلوريد الكربون CF4 ، صناعة الغاز الإلكترونية الخاصة لأشباه الموصلات لديها حواجز تقنية عالية. تتضمن عملية إنتاج غازات أشباه الموصلات الإلكترونية الخاصة العديد من تقنيات العمليات مثل التوليف والتنقية وإعداد الغاز المختلط والتعبئة والتحليل والاختبار ومناولة أسطوانات الغاز. كل خطوة لها متطلبات معلمة تقنية صارمة وتدابير مراقبة الجودة. من أجل ضمان جودة وإنتاجية أجهزة أشباه الموصلات ، يجب أن تلبي منتجات الغاز الخاصة متطلبات "فائقة النقاء" و "فائقة التنظيف" في نفس الوقت. تتطلب كلمة "فائق النقاء" أن يصل نقاء الغاز إلى 4.5 أو 5N أو حتى 6N أو 7N (N هو اختصار 9 ، وهناك عدة Ns وعدة Ns. يتطلب "التنظيف الفائق" التحكم الصارم في محتوى الجسيمات والشوائب المعدنية. كمعلمة للغازات الخاصة ، كل زيادة في النقاء بمقدار واحد N وكل انخفاض في تركيز الجسيمات والشوائب المعدنية بترتيب واحد من الحجم سيؤدي إلى زيادة في تعقيد العملية وصعوبتها. أقل/p>

• السابق: CF4
• التالي: كربون رباعي فلوريد درجة إلكترونية CF4